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声波晶圆划片电(sh)主u

发表于:(x)2023-5-10 0:00:00 来源Q?a href='http://9090.net.cn/supply/219.html'>http://9090.net.cn/supply/219.html

ZCS-65QD60声波高_ֺ气静(rn)压划片电(sh)主u

  


一?nbsp;pȝl成清单


二?nbsp;技术特点:(x)


        ●该气静(rn)压电(sh)主u采用 “纳c碳U维材料”制作的高刚性、大承蝲、低耗气量、自润滑、不损的高_֯气静(rn)压(I气轴承Q电(sh)主u。其轴向和径向承载力高,耗气量低Q自润滑功能Q具有低绿色环保不损的特炏V?/span>

        ●超声L机构内置在主轴内Q超声L辅助功能可开、可停,使用灉|方便。超声L的停启、频率和振幅的控制变化只需调节主u的进气压力即可实现。超声L辅助振动加工Q具有切削力强、让刀量小Q加工效率高、提高加工精度和表面光洁度,刀刃锋利耐用Qg长刀片用寿命等Ҏ(gu)。该Ҏ(gu)术已取得实用新型专利Q发明专利通过初审q入公示?/span>

        ●本气静(rn)压电(sh)主uh气密?/span>+q宫式防水防结构,密封效果更佳?/span>

        ●u?j)固定锁紧气~?设计有u?j)固定锁紧气~,便于更换法兰刀片?/span>

        ●主轴u头采?Q?0锥孔径,可采用专用Y、硬刀法兰夹具?/span>

        ●主轴电(sh)机采用三相永同步电(sh)机,驱动采用同步变频器实现无U调速?/span>

        ●本pȝ可在气\、水路进口处加有压力传感器,h甉|U圈q热、过、过载、气压低于下限、以?qing)冷却水断流{故障报警保护功能?/span>


三?nbsp;ZCS-65QD60型气?rn)压声波高_ֺ划片?sh)主轴主要技术指?/strong>

        1、主要技术指?/span>



        2?主要_ֺ指标

        ?/span>?/span> 轴头径向跛_ ?0.3um

        ?/span>?/span> 轴头轴向跛_ ?0.3um

        ?/span>?/span> 动^衡精度等U?/span>?G0.4

        ?/span>?/span> 动态全速度范围内振?/span>V ?0.3mm/s

        ?/span>?/span> 噪声全速度范围?/span> ?60 dB

        ?/span>?/span> 主u外壳最高温?/span> ?30 ?/span>


        3、特性曲U?/span>

  


        4、外形图

 

四、超声L高精度气?rn)压划片电(sh)主轴的主要技术特点:(x)

        1、切Q磨Q削力强Q是普通切Q磨Q削力的 3?0倍,高速高效;

        2、加工精度可以提高一个等U以上;

        3、刀片(砂轮Q用寿命大q度提高Q耐用性增?0倍以上;

        4、抑制毛Z生,自激振动的抑制性能强,加工pȝE_性能提高Q切割边~整齐不崩边Q?/span>

        5、能抑制刀片(砂轮Q表面的附着物,不易_黏Q不易生积削瘤Q刀片长久保持锋利;

        6、更适合薄片、细长孔Q杆Q等隑֊工材料的形态部Ӟ

        7、粗p度可大q度降低Q实现镜面加工;

        8、超声L振动的空化作用可提高冷却效果Q减切Q磨Q削热量Q避免品加工表面烧伤;

        9、超声振动辅助加工ؓ(f)Q单晶硅、玻璃、陶瓗钨钢、钻矻I不锈钢、钛合金、高温合金、硬质合金、镍基合金等脆黏材料的切()(j)削加工提供了(jin)一U有效的加工技术?/span>



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