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8寸晶圆减薄{?/a>QZCS-260QD0045?b>气静压电(sh)主u
1、主要技术指?/span>
2?主要_ֺ指标
①?转台回{_ֺ?0.1um ⑥?轴向刚性≥350N/um
②?动^衡精度等U≤ G0.4 ⑦?轴向最大承载≥2500N
③?动态全速度范围内振?V ?0.1mm/s ⑧?径向刚性≥125N/um
④?噪声全速度范围??50 dB ⑨?径向最大承载≥2500N
⑤?主u外壳最高温??10 ? ⑩?重量 130KG
3、特性曲U?nbsp;
4、外形图
上一个:12寸晶圆减薄{?/a>
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