?!DOCTYPE html>
高功6/8/12寸复合减薄{収ͼZCS-400QD01?b>气静压电(sh)主u
1、主要技术指?/span>
2?主要_ֺ指标
①?转台回{_ֺ?0.1um ⑥?轴向刚性≥500N/um
②?动^衡精度等U≤ G0.4 ⑦?轴向最大承载≥3500N
③?动态额定速度范围内振?V?.1mm/s ⑧?径向刚性≥200N/um
④?噪声全速度范围??50 dB ⑨?径向最大承载≥2600N
⑤?主u外壳最高温??10 ? ⑩?重量 240KG
3、特性曲U?nbsp;
4、外形图
下一个:12寸晶圆减薄{?/a>