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DISCO实现¼„›_Œ–¼‹…片SiC æ料加工—全‹¹ç¨‹çš„é™æœ¬æ效ï¼

å‘表于:(x¨¬)2023-06-26 æ¥æºåQ?a href='http://9090.net.cn/news/128.html'>http://9090.net.cn/news/128.html


      ¼„›_Œ–¼‹…å•æ™¶å…·æœ‰ä¼˜å¼‚的热ã€ç”µ(sh¨´)性能åQŒåœ¨é«˜æ¸©ã€é«˜é¢‘ã€å¤§åŠŸçŽ‡ã€æŠ—è¾å°„集æˆç”?sh¨´)å­å™¨äšg领域 æœ‰ç€òq¿æ³›çš„应用å‰æ™¯ã€‚碳化硅¼‹¬åº¦é«˜ã€è„†æ€§å¤§ã€åŒ–学性质½E›_®šåQŒä¼ ¾lŸåŠ å·¥æ–¹æ³•ä¸å®Œå…¨é€‚用因此在加工过½E‹ä¸­ä¼?x¨¬)出现效率é™ä½Žã€æˆæœ¬å¢žåŠ çš„现象ã€?/span>


      DISCO åˆ›é€ æ€§åœ°é‡‡ç”¨ KABRA æŠ€æœ¯ã€? è½´ç£¨å‰Šå’Œòq²æ³•æŠ›å…‰ã€è¶…声æ‡L切割和éšå½¢åˆ‡å‰ÔŒ¼Œåˆ†åˆ«åœ¨ç¢³åŒ–硅片制造ã€å™¨ä»¶å‡è–„ã€?nbsp;切割环节实现äº?ji¨£n)显著的优化效果ã€?nbsp;


      ¼„›_Œ–¼‹…片刉™€ ï¼š(x¨¬)2016 òqß_(d¨¢)¼ŒDISCO ç ”å‘出新型碳化硅晉™”­‹È€å…‰åˆ‡ç‰‡æŠ€æœ¯ï¼ˆKABRAåQ‰ï¼Œæ˜¾è‘— ¾~©çŸ­åŠ å·¥ç”¨æ—¶åQŒå°†å•ç‰‡ 6 å¯?nbsp;SiC æ™¶åœ†çš„切割时间由 3.1 ž®æ—¶å¤§å¹…¾~©çŸ­è‡?nbsp;10 åˆ†é’ŸåQŒå•ä½?nbsp;ææ–™æŸè€—é™ä½?nbsp;56%åQŒæ™¶åœ†äñ”é‡æå?nbsp;1.4 å€ã€‚åŒæ—¶æ–°æŠ€æœ¯å¯æŠ‘制晶圆起ä¼åQŒæ— éœ€ç ”磨æ“作ã€?/span>


      ¼„›_Œ–器äšgå‡è–„åQšç¢³åŒ–硅断裂韧性较低,在薄化过½E‹ä¸­æ˜“开裂,å¯ÆD‡´¼„›_Œ–¼‹…晶片的å‡è–„é?nbsp;常困难。DISCO é€šè¿‡ 4 è½´ç£¨å‰Šæ高生产率åQŒé€šè¿‡òq²æ³•æŠ›å…‰æ高质é‡ã€?/span>


      ¼„›_Œ–器äšg切割åQšè¶…声æ‡L切割æ高处ç†é€Ÿåº¦å’Œè´¨é‡ã€å‡ž®‘韧性æ料的毛刺åQ›éšå½¢åˆ‡å‰²æ— éœ€ æ¸…æ´—åQŒä¸”有助于凞®èŠ¯ç‰‡é—´éš”ã€?/span>





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