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4 ˜q›ç»™ä¸Žå¾®é‡è¿›¾l™ç³»¾l?/span>
˜q›ç»™¾pÈ»Ÿä¸å¸¸ç”¨çš„是儿Uè¿›¾l™ä¸æ ,在高¾_‘Öº¦åŠ 工机床ä¸æ»šç ä¸æ å› å…¶åå‘é—´éš™å°ã€ä¼ 动效率高而广泛的应用。精度更高的é™åŽ‹ä¸æ 和摩擦驱动装¾|®ä¹Ÿé€æ¸ç”¨äºŽé«˜ç²¾åº¦åŠ 工机床ã€?/span>
é«˜ç²¾åº¦åŠ å·¥æœºåºŠçš„æ»šç ä¸æ 一般的¾_‘Öº¦½{‰çñ”ä¸?/span>C0¾U§ã€‚由于是é—环控制åQŒåˆ©ç”¨é«˜½{‰çñ”的滚ç ä¸æ ,å¯èŽ·å¾—现行高水åã^0.01µm的定ä½ç²¾åº¦ã€‚滚ç ä¸æ ä¸éœ€è¦é™åŽ‹ä¸æ 所需的附属装¾|®ï¼Œæ˜¯ä‹É用æžä¸ºæ–¹ä¾¿çš„ä¸æ 。但作äؓ亚微¾c³çñ”é«˜ç²¾åº¦åŠ å·¥æœºåºŠçš„˜q›ç»™ä¸æ ™å»è€ƒè™‘到由于滚ç 的转动和滚ç 间的接触滑动有微å°çš„振动åŠä¸Žæ»‘动ä¸æ ç‰ç›¸æ¯”较振动衰å‡ç‰¹æ€§å·®½{‰é—®é¢˜ã€?/span>HCM-â… é«˜¾_‘Öº¦åŠ 工机床采用的滚ç ä¸æ ,在严æ ég¿è¯ä¼ºæœç”µ(sh¨´)动机与ä¸æ ã€ä¸æ 和螺æ¯ä¸Žåº•åº§å’Œæºœæ¿çš„è”接装é…çš„åŸºç¡€ä¸Šï¼ŒåŠ å¤§æºœæ¿æ°”æÕQé¢ç§¯ã€æ高其气æÕQ刚度åQŒä»Žè€Œå‡ž®ç”±äºŽä¸æ 的误差å¯ÒŽ(gu¨©)ºœæ¿è¿åŠ¨ç²¾åº¦çš„å½±å“。åƈ且ä¸æ 螺æ¯ä¸Žæºœæ¿é‡‡ç”¨äº†æÕQ动连接结构,从而凞®äº†æºœæ¿èµ·ä¼é€ æˆæ»šç ä¸æ å—压波动而引èµïL(f¨¥ng)š„ä¸æ 瞬间或æŒä¹…çš„å˜åŞ。åŒæ—¶ä¹Ÿé¿å…了由于滚ç ä¸æ 本íw«å¼¯æ›²å¼•èµïL(f¨¥ng)š„å› ä¸æ æ—‹è½¬è€Œé€ æˆçš„溜æ¿è¿åŠ¨è¯¯å·®ï¼Œå› æ¤å®žçŽ°äº†è¿åŠ¨çš„ž®ä½¿UÕdˆ†è¾¨çŽ‡â‰?/span>0.01µmã€?/span>
é™åŽ‹ä¸æ 副的ä¸æ 与螺æ¯ç”±äºŽä¸ç›´æŽ¥æŽ¥è§¦åQŒè€Œæ˜¯æœ‰ä¸€å±‚高压液体膜盔Rš”åQŒæ‰€ä»¥æ²¡æœ‰ç”±äºŽæ‘©æ“¦è€Œå¼•èµïL(f¨¥ng)š„爬行和åå‘é—´éš™ï¼Œå› æ¤å¯ä»¥é•¿æœŸä¿æŒ¾_‘Öº¦åQŒè¿›¾l™åˆ†è¾¨çŽ‡æ›´é«˜åQ›åˆç”׃ºŽæ²¹è†œå…ähœ‰å‡åŒ–作用åQŒå¯ä»¥æ高进¾l™ç²¾åº¦ï¼Œåœ¨è¾ƒé•¿çš„行程上å¯ä»¥è¾¾åˆ°çº³¾c³çñ”的定ä½åˆ†è¾¨çŽ‡ã€‚但是é™åŽ‹ä¸æ 装¾|®è¾ƒå¤§ï¼Œä¸”须有æÑaæ³üc€è“„压器ã€æ¶²ä½“åó@环装¾|®ã€å†·å´è£…¾|®å’Œ˜q‡æ×o装置½{‰ä¼—多的辅助装置åQŒå¦å¤–还å˜åœ¨çŽ¯å¢ƒæ±¡æŸ“问题ã€?/span>
摩擦驱动是通过摩擦把伺æœç”µ(sh¨´)动机的回转è¿åŠ¨è{æ¢æˆä»ŽåŠ¨æ†çš„直线˜q动åQŒå®žçŽ°æ— é—´éš™ä¼ åŠ¨åQŒå…¶å·¥ä½œåŽŸç†å¦‚图1所½Cºã€‚从微观上看åQŒåŽ‹ç´§è½®ä¸Žä»ŽåŠ¨æ†ä¹‹é—´çš„æÑa膜处于液体润滑状æ€ï¼Œæ¶¦æ»‘油的剪æ–ç‰ÒŽ(gu¨©)€§å†³å®šç‰µå¼•ç³»¾lŸã€‚å› è€Œè¦é€‰æ‹©¾pÀL•°è¾ƒé«˜çš„润滑æÑa。压紧轮滚动时实现进¾l™ï¼Œ˜q›ç»™åˆ†èöL率å–决于伺æœç”?sh¨´)动机回转一周的æ¥è¿›æ•°ã€‚采用摩擦驱动进¾l™çš„一个é‡è¦é—®é¢˜æ˜¯é¢„压åQŒè‹¥é¢„压力过ž®ï¼Œåˆ™æŽ¥è§¦é¢æœ‰å¯èƒ½äñ”生滑动;若预压力˜q‡å¤§åQŒç”±äºŽå¼¹æ€§å˜å½¢ï¼Œåˆ™å¾ˆéš‘Ö®žçŽ°æ£¼‹®çš„驱动。å¦å¤–由于预压力的å˜åœ¨ï¼Œ˜q˜å®¹æ˜“äñ”生磨æŸé—®é¢˜ã€‚æ–°çš„ç ”½I¶è¡¨æ˜Žï¼Œç”¨æ‰æ›²æ»šè½®æ‘©æ“¦é©±åŠ¨å¯ä»¥å®žçŽ°åŸƒ(µ)¾U§å®šä½ã€?/span>
é«˜ç²¾åº¦åŠ å·¥æœºåºŠä¸˜q˜å¹¿æ³›åº”用微é‡è¿›¾l™æœºæž„,以满‘›_¯¹æ›´é«˜å®šä½¾_‘Öº¦å’Œè¿›¾l™åˆ†è¾¨çŽ‡çš„è¦æ±‚。常用的æ–ÒŽ(gu¨©)³•æœ‰é‡‡ç”¨æ»šåŠ¨ä¸æ è¿›¾l™å’Œå¼ÒŽ(gu¨©)€§è¿›¾l™åƈ用的æ–ÒŽ(gu¨©)³•å’Œç”±¾_—调和微调压ç”?sh¨´)元件组åˆçš„æ–Ò?gu¨©)³•ã€?/span>HCM-â… é«˜¾_‘Öº¦åŠ 工机床采用的是压电(sh¨´)å¼å¾®é‡è¿›¾l™åˆ€æž¶ã€?/span>
5 环境æ¡äšg
é«˜ç²¾åº¦åŠ å·¥çš„çŽ¯å¢ƒæ¡äšgæœ‰ä¸‰ã€‚å…¶ä¸€æ˜¯æ±¡æŸ“ï¼Œé«˜ç²¾åº¦åŠ å·¥æœºåºŠé¡»¾|®äºŽ‹z净的超净室内æ‰èƒ½å……分å‘挥其优åŠÑ€‚室内的‹z净度以一立方英尺ä¸?/span>0.5µm以上的簞®˜çš„æ•°é‡è¡¨ç¤ºã€‚作为高¾_‘Öº¦åŠ 工机床的工作环境应ä¸?/span>20000ï½?/span>3000¾U§ä»¥ä¸‹ã€?/span>
其二是振动。环境振动的òq²æ‰°ä¸ä»…会引èµähœºåºŠæœ¬ä½“的振动åQŒæ›´ä¸»è¦çš„æ˜¯ä¼šå¼•èµ·åˆ‡å‰Šåˆ€å…·ä¸Žè¢«åŠ å·¥é›¶ä»‰™—´çš„相å¯ÒŽ(gu¨©)Œ¯åŠ¨ä½¿U»ï¼ŒåŽè€…将直接åæ˜ åˆ°è¢«åŠ å·¥é›¶äšg的精度和表é¢è´¨é‡ä¸Šã€‚å› æ¤é«˜¾_‘Öº¦åŠ 工机床™å»è®¾¾|®æ€§èƒ½ä¼˜å¼‚的隔振装¾|®ã€‚ç›®å‰å›½å¤–高¾_‘Öº¦åŠ 工机床ä¸ï¼Œå¤§å¤šæ•°é‡‡ç”¨ä»¥½Iºæ°”弹簧为隔振元件的隔振¾pÈ»ŸåQŒåƈå–得了较好的隔振效果。这主è¦æ˜¯å› 为空气弹½§åœ¨å…ähœ‰è¾ƒå¤§æ‰¿è²èƒ½åŠ›çš„åŒæ—Óž¼Œå…ähœ‰è¾ƒä½Žçš„刚度。弹½§çš„低刚度å¯ä½‰Kš”振系¾lŸèŽ·å¾—较低的固有频率åQŒè¿œ¼›ÈŽ¯å¢ƒå¹²æ‰°é¢‘率,æ高隔振效果。ç»ç†è®ºåˆ†æžç ”究和计½Ž—比较,HCM-â… é«˜¾_‘Öº¦åŠ 工机床采用了直½{’约æŸè†œå¼ç»“构,òq¶å–内ã€å¤–å˜è§’å‡äØ“0“ïã€‚è¿™æ ·ä¸ä»…å¼¹½§åˆšåº¦çš„¾U¿æ€§åº¦å¥½ï¼Œè€Œä¸”¾l“æž„½Ž€å•ï¼Œä¾¿äºŽæ¨¡å…·çš„åˆ¶é€ ä»¥åŠè£…¾|®çš„安装和调整ã€?/span>
其三是温度。高¾_‘Öº¦åŠ å·¥æœºåºŠçš„åŠ å·¥é¡»åœ¨æ’æ¸©å®¤å†…è¿›è¡Œï¼ŒåŠ å·¥˜q‡ç¨‹ä¸æ¸©åº¦çš„å˜åŒ–åQŒä¼šé€ æˆæœºåºŠ˜q动¾_‘Öº¦ä¸‹é™åQŒä¸èƒ½èŽ·å¾—æ‰€å®šçš„åŠ å·¥¾_‘Öº¦ã€‚äؓ了解册™¿™ä¸€é—®é¢˜åQŒé€šå¸¸ä»Žä¸¤ä¸ªæ–¹é¢å…¥æ‰‹ï¼Œä¸€æ˜¯é€‰æ‹©åˆé€‚的部äšgææ–™åQŒé«˜¾_‘Öº¦åŠ 工机床ä¸ä‹É用的和候选的æ料有氧化é“陶瓷ã€é“¸é“ã€é’¢ã€æ®·é’¢ã€èŠ±å²—岩ã€æ ‘è„‚æØœå‡åœŸå’Œé›¶è†¨èƒ€çŽÈ’ƒã€?/span>